超纯水系统是一套多级组合式精密水处理成套设备，通过过滤、膜分离、电化学、离子交换、紫外氧化等工艺，去除原水中悬浮物、胶体、无机盐离子、有机物、微生物、溶解气体，产出25℃电阻率≥18.2 MΩ・cm的纯水，是半导体、实验室、制药、光伏、锂电的核心配套设备。
超纯水系统通常采用多级纯化工艺，构建水质保障体系。其核心工艺流程主要包括以下几个阶段：
预处理单元：通过多介质过滤、活性炭吸附、超滤(UF)或软化阻垢等物理与化学手段，去除原水中的悬浮物、余氯、有机物及胶体，防止后续核心膜元件受到污染或氧化破坏。
核心脱盐单元：主要采用反渗透(RO)技术。利用高压泵提供动力，使水分子逆着自然渗透压穿过半透膜，有效去除水中98%以上的溶解盐类、微生物及大分子有机物。
深度除盐单元：采用EDI(电去离子)技术。该技术结合了电渗析与离子交换，在直流电场作用下连续迁移并排出水中的离子，同时利用电解水产生的H⁺和OH⁻实现树脂的连续再生。此过程无需酸碱化学再生，可连续制取高纯水。
终端抛光与精制：经过EDI处理后的水进入氮封水箱，随后通过抛光混床去除微量小分子有机物与离子，并辅以185nm/254nm UV紫外灯降解有机物(TOC)和杀灭微生物，然后经过0.22μm或0.1μm终端超滤，确保产水水质达到较高标准。
更新时间：2026-06-11
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实验室超纯水系列